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電子束設備廠漢微科（3658），6月16日宣布，由荷商艾司摩爾（ASML）以總價1,000億元，每股1,410元，買下漢微科100％持股，漢微科也將在8月3日臨時股東會中表決，依照漢微科24日收盤1,320元換算，溢價超過6.8％。漢微科去年營運衰落至近年谷底，今年才有起色，並預告6月營收將有大幅回升，Q2單季業績持續走高，執行長招允佳表示，預計極紫外光（EUV）量產時程，將是漢微科未來2～3年重回業績高度成長關鍵。經由ASML的EUV極紫外光微影系統平台效能提升，構成雙方合作搶攻半導體先進製程商機的優勢。

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